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2023年度 第1回 MaCBES共用機器紹介セミナー1
2023-10-20
2023年度MaCBES機器説明会より
ナノハブ拠点の利用方法及び、機器の紹介
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1. MaCBESについて
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2. ナノハブ拠点利用方法
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3. ナノハブ装置概要説明
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4. 原子層体積装置(ALD)紹介
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5.ウエハプロファイラ紹介